Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
Нижний концентрационный предел взрываемости с воздухом 3,2 % (объемн.); верхний 90 [(+ 6,5)-5-(-5,0)] % (объемн.).
Смеси инертных газов и силана (с содержанием силана > 3 %) самовоспламеняются и горят на воздухе [293]. Невоспламенякнциеся смеси: силан (2,0 %) с азотом, сиЛан (2,5 %) с водородом, силан (1,5 %) с арґоном.
В помещениях необходимо следить за герметичностью оборудования и трубопроводов, исправной работой приточной и вытяжной вентиляций, осуществлять контроль за содержанием силана в атмосфере помещения.
По действию на организм человека водород является физиологически инертным газом, лишь при очень высоких концентрациях вызывает удушье вследствие уменьшения концентрации кислорода в воздухе.
Водород - горючий газ. Температура самовоспламенения 783 К.
Пределы взрываемости концентрационные, % (объемн.): в воздухе [294]:
нижний.................
верхний ...............
в хлоре:
нижний.................
верхний [295]..........
Минимальная энергия зажигания,
МДж.........................
Минимальное взрывоопасное содержание кислорода при разбавлении водородо-воздушных смесей, % (объемн.):
углекислым газом..........
азотом....................
Минимальная огнегасящая концентрация средств объемного тушения, % (объемн.):
углекислого газа..........
азота.....................••
391
4.0
75.0
5,8
88,5
0,017
7,9
5,0
62
76
Величина безопасного максимального зазора (БЭМЗ) до 0,5 мм. Категория и группа смеси водорода с воздухом II CU.
Для предотвращения попадания водорода в воздух рабочей зоны необходимо тщательно следить за герметичностью оборудования и трубопроводов, осуществлять отсос воздуха из верхней зоны помещений. В помещениях, где используется водород, устанавливают автоматические газоанализаторы, сблокированные с аварийной вытяжной вентиляцией.
Отравление хлором в высоких концентрациях может привести к молниеносной смерти из-за рефлекторного торможения дыхательного центра. При отравлениях хлором средних и низких концентраций наступают резкие загрудные боди, жжение и резь в глазах, слезоточение, мучительный сухой кашель. Через 2-3 ч развивается отек легких. Отравление хлором в малых концентрациях возможно при нарушениях правил обращения с хлором в производственных условиях. Такие отравления сопровождаются покраснением конъюктивы, мягкого неба, глотки, бронхитом, небольшой эмфиземой легких, отдышкой, охриплостью, чувством давления в груди, рвотой. Отравления хлором могут активизировать туберкулезный процесс в легких. ПДК хлора в воздухе рабочей зоны 1 мг/м3 [288], класс опасности 2 [291]. Хлор негорюч.
При отравлениях хлором пострадавшего необходимо вынести на свежий воздух, согреть, вызвать врача, освободить от стесняющей одежды, промыть глаза, рот и нос водой. Дать выпить теплое молоко с содой, кофе. Искусственное дыхание делать запрещено.
Для защиты работающих от воздействия хлора используют фильтрующий противогаз марки БКФ, резиновые и суконные перчатки, спец-обувь, суконную спецодежду. В помещениях необходимо постоянно осуществлять контроль за содержанием хлора, обеспечивать герметичность оборудования и трубопроводов, надежную работу вентиляционных систем.
Хлористый водород или пары соляной кислоты при высоких концентрациях вызывают раздражение слизистых оболочек, особенно носа, конъюктивит, помутнение роговицы, охриплость, чувство удушья, покалывание в груди, насморк, кашель. Хроническое отравление вызывает катары дыхательных путей, разрушение зубов, изъявление слизистой оболочки носа, желудочно-кишечные расстройства, возможны воспалительные заболевания кожи. Во влажном воздухе может образовываться туман хлористоводородной кислоты, который может вызвать легкие ожоги, но не столь тяжкие, как при действии паров серной и азотной кислот [288]. ПДК в воздухе рабочей зоны 5 мг/м3 [291].
При отравлении хлористым водородом пострадавшего необходимо вынести на свежий воздух и освободить от стесняющей одежды, применить ингаляцию кислородом, вызвать врача. При попадании в глаза -392
промыть их обильно водой. При попадании крепкой соляной кислоты на кожу необходимо немедленно промыть пораженное место водой в течение 5-10 мин, воду лучше подавать непрерывной струей под давлением.
Хлористый водород - негорючий газ, однако соляная кислота (раствор хлористого водорода в воде) при взаимодействии с металлом (железо) выделяет водород.
Для защиты работающих используют фильтрующий противогаз марки БКФ, спецодежду из плотной кислотостойкой ткани, суконный костюм, резиновые или кирзовые сапоги, резиновые или суконные перчатки, шерстяной головной убор.
В помещениях необходимо следить за герметичностью оборудования и трубопроводов, исправной работой приточной и вытяжной вентиляций, осуществлять контроль за содержанием хлористого водорода.
Действие тетрахлорсилана на организм человека аналогично действию трихлорсилана. Тетрахлорсилан негорюч. Помощь при отравлении, меры и средства защиты, обезвреживание аналогичны мерам безопасности при работе с трихлорсиланом.
