Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
80. Rustioni M., Garayaglia R., Pizzini SJIL Electrochem. Soc. 1982. V. 129. N0 8. P. 332.
81. Hahorsen G., Schlussler C.//Alum. Technol. 86, Proc. Int. Conf. London, 11—13 March, 1986. — London: Butterworths, 1986. P. 139—146.
82. Agrayal A.K., Austin A.EJ/1. Electrochem. Soc. 1980. V. 127. N0 3. P. 117.
83. Monnier R. //Chimia. 1978. V. 37. N0 4. P. 109-124.
84. Шашков Ю.Н. Металлургия полупроводников. — M.: Металлургиздат, 1960. — 212 с.
85. Bathey B.R., Cretella M.C.//J. Mater. Sei. 1982. V. 71. N0 11. P. 3037-3096.
86. Helberlein L.V.R., Lowry I.F., Meyer T.N./fi.S.f.C. — 4th Int. Symp. Plasma Chem. Top.
Meet Interact. Low Press. Plasma Solid Surfaces Round Table Therm. Plasma Process. Zurich, 1979. Conf. Proceedings. V. 2. P. 716—722.
87. Мазда М.//Кодзюндо сирикои-ю манетто То соно Сэйдзо гидзюду. Сэйсан кзнкю. —
1986. Т. 38. № 9. С. 425-433.
88. Caryle S., Herrick A., JamesG. Krieblelli. Electrochem. Soc. 1960. V. 107. N0 2. Р. 111—117.
89. H1Olbling RJ/Zt. Angew. Chem. 1927. S. 655-659.
90. Яр кин В.Н., Петрик А.Г., Фалъкевич Э.С.//Цветные металлы. 1988. N0 6. С. 70—73.
91. Nicolau Fl., Wozes Gh., Grigoroyici Б.//Rer. Chem. 1960. V. И. N0 8. Р. 468-476.
92. Венгин С.И., Чистяков A.C. Технический кремний. — М.: Металлургия, 1972. — 206 с.
93. Рагулина РЖ, Бмлин БЖ. Электротермия кремния и силумина. - М.: Металлургия,
1972. - 240 с.
94. Егоров А.Н., Моржин А.?. Электрические печи. — М.: Металлургия, 1972. — 213 с.
95. Лапидус И.И., Ниселъсон Л.А. Тетрахлорсилан и трихлорсилан. — М.: Химия. 1970. — 128 с.
96. Морачевский А.Г., Сладкое И.Б. Физико-химические свойства молекулярных неорга-
401
нических соединений (Экспериментальные данные и методы расчета). — Л.: Химия,
1987.-192 с.
97. Термические свойства индивидуальных веществ/Под ред. В.П. Глушко. — М.: Наука. Т. 1. Кн. 2. 1978. - 326 с.; Т. 2, Кн. 2. 1979. - 340 с.; Т.З. Кн. 2. 1981. - 326 с.; Т. 4. Кн. 2.
1982. - 558 с.
98. DrewyM-A., Schenck W.L., Smith LR. a.o.//Sol. State Techn. 1973. V. I. January. P. 39-42.
99. Fischer C., Wolf E.//Z. Anorg. Allgem. Chem. 1964. Bd 330. S. 46-53.
100. Шаулов Ю.Х., Коробов B.B., Голосова P.M., Волков В.Л.//ЖФХ. 1966. Вып. XL. N0 8. C. 1893-1898.
101. Иванова H.T., Пригожим Л.Д., Голубцов C.A., Горбунов AM.//ЖОХ. 1972. Т. XL11. Вып. 5. С. 1115-1118.
102. Подгорный М.М., Голубцов С.А., Андрианов К.А., Монголия Э.Г.//ЖОХ. 1974. Т. XLlV. Вып. 4. С. 767-773.
103. Белый А.П., Горбунов АЖ, Флид P.M. и др.//ЖФХ. Т. XLIII. N0 5. С. 1144-1149.
104. Подгорный М.М., Голубцов С. А., Андрианов К. А., Монголия Э.Г.ЦЖОХ. 1974. Т. XLlVi Вып. 4. С. 774-778.
105. Белый Н.П., Горбунов AM., Подгорный И.М. и др.//ЖФХ. 1969. Т. XL1I1. N0 5. С. 1770— 1774.
106. Трофимова Я.В./Лруды конференции по химиии неорганических соединений. Вып.
6. — М.: Госхимнздат, 1958. С. 183.
107. A.c. 169500 СССР. Устройство для распределения, перемешивания и транспортировки твердой фазы во вращающемся барабанном аппарате/Макевич М.П., Фрайман P.C., Цирлин AM.//Открытия. Изобретения. 1965. N0 7. С. 19.
108. Курочкина ММ. Взвешенный слой в химической промышленности. — JI.: Химия,
1972. - 128 с.
109. A.c. 927294 СССР. Реактор для синтеза хлор- и органохлорсиланов и псевдоожиженном
слое/ Э.С. Стародувцев //Открытия. Изобретения. 1982. N0 12. С. 30.
HO. Расчеты аппаратов кипящего слоя/Под ред. И.П. Мухленова, Б.С. Сажина, В.Ф. Фро-пояа — JI.: Химия, 1986. — 352 с.
111. Аэрое М.Э., Тодес О.М. Гидравлические и тепловые основы работы аппаратов со стационарным н кипящим зернистым слоем. — JI.: Химия, 1968. — 512 с.
!12. Фурман A.A., Титова М.В., Рабовский Б.Г. и др.//Химическая промышленность. 1968. N0 5. С. 39-41.
113. Фурман A.A. Неорганические хлориды. — М.: Химия, 1980. — 416 с.
114. Попенко В.Ф., Генералова С.А., Ефремов Е.А. и др.//ЖПХ. 1982. Т. 55. N0 2. С. 389— 395.
115. Бажант В., Xeaловски В., Ратоуски И. Силиконы: Пер. с чешек. — М.: Госхимиздат, 1960. - 710 с.
116. Девятых Г.Г., Фалъкевич' Э.С., Петрик А.Г. и др.//VU Всесоюзная конференция по методам получения и анализа высокочистых веществ. — Горький: Институт химии АН СССР, 1985. Ч. 1. С. 21-22.
117. Девятых Г.Г., Зорин А.Д. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. — М.: Наука, 1974.-203 с.
118. Нисельсон Л.А., ЛапидусЯ.Я.//ЖФХ. 1965. Т. 39. N0 1. С. 161—165.
119. Зелъвенский Я.Д., Титов A.A., Малыгин В.А. Ректификация разбавленных растворов. — Л.: Химия, 1974. — 216 с.
120. Чехов О.С., Рыбинский А.Г., Николайкин НМ.//Химическая промышленность за рубежом. - М.: НИИТЭХИМ, 1976. С. 58-79.
121. Чехов О.С., Фролов В.Н. Оборудование, его эксплуатация, ремонт и защита от коррозии в химической промышленности. — М.: НИИТЭХИМ, 1974. — 25 с.
122. Голосов В.Н., Хмельницкая И.А./ІСб. науч. тр. НИИхиммаш. — М.: НИИТЭХИМ,
1973. Вып. 62. С. 48-49.
123. Иоффе Ю.Р. Оборудование, его эксплуатация, ремонт и защита от коррозии. — М.: НИИТЭХИМ, 1973. С. 13-17.
