Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
272. Соколов Б.К. Газы особой чистоты. - М.: Знание, 1981. - 62 с.
273. Глизманенко Д.Л. Получение кислорода. - П.: Химия, 1965. -752 с.
274. Голото И.Д., Докучаев Б.П., Колмогоров Г.Д. Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. — М.: Энергия, 1975. - 209 с.
275. Головко Г.А. Криогенное производство инертных газов. - JI.: Машиностроение,
1983.-416 с.
276. Якименко Л.М. Получение водорода, кислорода, хлора и щелочей. — М.: Химия,
1981.-280 с.
277. Грачев А.Б., Калинан Н.В. Получение и использование низких температур.'— М.: Энергоиздат, 1981. — 128 с.
278. Телеснин Р.В. Молекулярная физика. — М.: Высшая школа, 1973. — 360 с.
279. Каганер М.Г. Тепловая изоляция в технике низких температур. — М.: Машиностроение, 1966. — 423 с.
280. Соколов Я.Е., Бродянский В.М. Энергетические основы трансформации тепла и процессов охлаждения. — М.: Энергия, 1968. — 335 с.
281. Комаров Н. С Холод. — М.: Гизлегпищепром, 1953. — 702 с.
282. Эгибах Г.Л. Практические сведения по вакуумной технике. — М.—JI.: Энергия, 1966. — 296 с.
283. Mui 7. V.P.//Corrosion. 1985. V. 41. № 2. Р. 63-69.
284. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975. — 622 с.
285. Основы вакуумной техники/Липко А.И., Плискоеский В.Я., Королев Б.И., Кузнецов В.И. — М.: Энергоиздат, 1981. — 430 с.
286. Рожков И.В., Алмазов O.A., Ильинский A.A. Получение жидкого водорода. — М.: Химия, 1967. —199 с.
287. Якименко JIM., Модылевская И.Д., Ткачек З.А. Электролиз воды. — М.; Химия, 1970.-264 с.
288. Вредные вещества в промышленности/Под ред. Н.В. Лазарева, Э.Н. Левиной. - Л.: Химия, 1976. - 624 с.
289. ГОСТ 12.1. 007—76. Вредные вещества. Классификация и общие требования безопасности. — М.: Изд-во стандартов, 1984. — 6 с.
290. ГОСТ 12.1.041—83. Пожаровзрывобезопасность горючих пылей. Общие требования. — М.: Изд-во стандартов, 1986. —15 с.
291. ГОСТ 12.1. 005—76. Воздух рабочей зоны. Общие санитарно-гигиенические требования. — М.: Изд-во стандартов, 1977. — 32 с.
292. Пожариая опасность веществ и материалов, применяемых в химической промышленности. Под ред. И.В. Рябова. — М.: Химия, 1979. — 336 с.
293. Воронков М.Г., Зелна Г.И., Лукевиц Э.Я. Кремний и жизнь. — Рига: Зинанте — 1978. — 587 с.
294. ГОСТ 12.1.011—78 СТСЭВ 2775—80. Смеси взрывоопасные. Классификация н методы испытаний. — М.: Изд-во стандартов, 1983. — 18 с.
295. Якименко Л.М., Пасманик М.И. Справочник по производству хлора, каустической соды и основных хлорпродуктов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Химия, 1976. -440 с.
296. Сабарко PM., Селедцов В.Ф. Электробезопасность на производстве. — 2-е изд., перераб. и доп. — Киев: Вища школа, 1983. — 56 с.
297. ГОСТ 12.1.006—84. Электромагнитные поля радиочастот. Допустимые уровни на рабочих местах и требования к проведению контроля. — М.: Изд-во стандартов, 1985. — 6 с.
298. Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей и правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителен/Тлавное управление государственного энергетического надзора .Минэнерго СССР. — 4-е изд., перераб. н доп. — М.: Энергоатомиздат, 1988. - 427 с.
