Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
Титан в сухом газообразном и жидком хлоре воспламеняется. Во влажном хлоре при температурах ниже точки росы, а также в хлорной воде до 373 К титан практически не корродирует. Практика показала, что титан в определенных условиях проявляет склонность к щелевой коррозии. Такой вид разрушения наблюдается в зазорах между трубами и трубными решетками холодильников и т.п.
Глава Vn. ОСНОВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ
Производство полупроводникового кремния связано с использованием и получением огневзрывопожароопасных и токсичных веществ, электроэнергии и др. Поэтому необходимо знать некоторые характеристики исходных, промежуточных и конечных продуктов, а также общие правила безопасности при работе с электроустановками и оборудованием.
Действие кремниевой пыли на организм человека подробно не исследовано. Предельно допустимая концентрация (ПДК), принятая для аэрозоли кремния, 4 г/м3 [288]. Класс опасности кремния по ГОСТ 12.1.007-76 не определен, вместе с тем аэрозоль кремнемедного сплава отнесен к четвертому классу опасности [289]. Кристаллический кремний - негорючий материал. Мелкодисперсная пыль кремния в смеси с воздухом образует взрывопожароопасные смеси. Нижний концентрационный предел воспламенения 100 г/м3, а температура воспламенения 1063 К [290].
Для защиты органов дыхания используют респираторы, для защиты кожи - плотную спецодежду, рукавицы, обувь. Для снижения концентрации пыли в воздухе помещения необходимо проводить тщательную влажную уборку кремниевой пыли не реже 2 раз в год и влажную уборку рабочих мест ежемесячно. Необходимо также следить, за постоянной работой вытяжной вентиляции и фильтров. Кусковой кремний хранится в деревянных ящиках или металлических контейнерах с герметичными крышками для предотвращения попадания влаги.
При вдыхании паров трихлорсилана в течение нескольких минут человек возбуждается, происходят рефлекторное нарушение дыхания, воспалительные изменения в органах дыхания. Пары трихлорсилана сильно раздражают слизистые оболочки глаз, рта, носа и верхних дыхательных путей, вызывают отдышку, а при высоких концентрациях и длительном воздействии - судороги и смерть. При контакте с кожей трихлорсилан вызывает некроз, длительно не заживающие язвы [288]. ПДК паров трихлорсилана в воздухе рабочей зоны 1 мг/м3, класс опасности 2 [291]. При отравлениях трихлорсиланом пострадавшему необходимо обеспечить доступ свежего воздуха, освободить от стесняющей
389
одежды, укрыть, согреть грелками. Возможно применение ингаляций кислородом.
При попадании трихлорсилана в глаза или на кожу необходимо пораженное место промыть обильной струей воды. Во всех случаях, пока оказывается первая помощь, необходимо вызвать скорую помощь.
Трихлорсилан - очень опасная, легко воспламеняющаяся жидкость, пары которой в смеси с воздухом образуют взрывоопасные смеси [292]. Температура вспышки 239,55 К, самовоспламенения 503,15 К.
Пределы взрываемости с воздухом:
Температурный:
нижний........................ 239,55 К
верхний....................... 302,65 К
Концентрационный:
нижний........................ 6,6±0,1 %
(объемн.)
верхний....................... 91,0 %
Минимальные: (объемн.)
энергия зажигания............. 0,001 МДж
Огнегасящая концентрация, %
(объемн.), в том числе:
азота......................... 90
углекислого газа.............. 86
Коэффициент безопасности.......... 6,5
При попадании даже небольших количеств дихлорсилана в атмосферу помещения сильно раздражается слизистая оболочка глаз и верхних дыхательных путей. Непосредственный контакт дихлорсилана с кожей и слизистой оболочкой глаз приводит к некротическим изменениям тканей. Очень токсичен. ПДК дихлорсилана в воздухе рабочей зоны 1,0 иг/и3, однако при такой концентрации работать можно < 1 ч. Работа с концентрацией дихлорсилана > 7 иг/и3 недопустима даже в аварийных случаях. Необходимо пользоваться противогазами.
При отравлениях дихлорсиланом пострадавшего необходимо вынести на свежий воздух, освободить от стесняющей одежды, укрыть, согреть грелками, дать кислород, вызвать врача. При попадании дихлорсилана в глаза необходимо быстро промыть обильной струей воды в течение > 15 мин. При промывании глаз веки необходимо оттягивать, чтобы обеспечить доступ воды на большую поверхность СЛИЗИСТОЙ оболочки глаза. После получения первой помощи обратиться к врачу.
Дихлорсилан - пожаровзрывоопасный газ, образующий с воздухом взрывоопасные смеси. Температура вспышки 236,15 К, температура самовоспламенения 374,15 К. Нижний концентрационный предел взрываемости с воздухом 4,1 %, верхний 98,8 %.
390
Меры защиты от воздействия дихлорсилана и условия безопасной работы на производстве аналогичны изложенным при работе с трихлорсиланом.
Моносилан - бесцветный, некоррозионный, токсичный, самовоспламеняющийся газ с неприятным запахом. Наличие силана в атмосфере помещения вызывает головную боль. Острые отравления силаном сопровождаются головной болью, головокружением, тошнотой, обильным потоотделением, бледностью, полуобморочным состоянием. В картине крови наблюдается гемолитическое действие силана и через месяц после отравления [289]. ПДК силана в воздухе 5 мг/м3 [292]. Это самовоспламеняющийся на воздухе газ, горение которого сопровождается взрывом. Стандартная температура самовоспламенения 133,15 К.
