Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
225. MiullerSJIZ. Naturforsch. 1954. Bd 9b. № 7. S. 502-504.
226. Keck P.HJIRty. Sei. Instrum. 1954. V. 25. N0 4. Р. 331-335.
227. Hevwang WJIZ. Naturforseh. 1956. Bd 11а. N0 3. S. 238-243.
228. Баба? ГМ. Индукционный нагрев металлов и его промышленное применение. — М.—Л.: Энергия, 1965. — 552 с.
229. Keller W., Muhlbauer A.HMarcel Dekker Inc., N.Y. and BaseL 1981. P. 237.
230. Бындш В.М., Добровольская В.И., Ратников Д.Г./Индукционный нагрев при производстве особо чистых материалов. — Л.: Машиностроение, 1980. — 64 с.
231. Ратников Д.Г. Бестигельная зонная плавка. — М.: Металлургия, 1976. — 224 с.
232. Установки индукционного нягрев&ІСлухоцкий А.Е., Немцов B.C., Павлов H.A., Баму-1 нер A.B.; под ред. А.Е. Слухоцкого. — Л.: Энергоиздат, !981. — 328 с.
233. Пфанн В. Зонная плавка. Пер. с ангп./Под ред. В.Н. Вигдороеича. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Мир, 1970. — 366 с.
234. Дудавский CM., Трубицын Ю.В., Неймарк /С.Я.//Цветные металлы. 1983. N0 2. С. 57—58.
235. Циглер Г. //Зонная плавка: Сб. переводных статей/Под ред. В.Н. Вигдороеича. — М.: Металлургия, 1966. С. 64—70.
236. НеймаркК.Н., Трубицын Ю.В., Фалъкевич Э.С.//Цветные металлы. 1984. N0 2. С. 61—63.
405
237. Доброхотов Г.А., Неймарк K.H.UИзв. АН СССР. Неорганические материалы. 1980. Т. 16. N011. С. 1893-1895.
238. Ziegler G.IIZ. Naturfcrschung. 1961. Bd 16а. N0 2. S. 219-225.
239. Кравцов А.А., Осовский М.И., Фалъкевич Э.С., Червоный И.Ф.ЦТезисы докладов VII конференции по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок, 9—13 июия 1986 г. — Новосибирск: Гидроцветмет, 1986. Т. 2. С. 83—84.
240. Ратников Д.Г. //Промышленное применение токов высокой частоты: Сб. науч. Тр. ВНИИТВЧ. — JI.: Машиностроение, 1974. Вып. 14. С. 74—77.
241. Kyлешин AM., Осовский М.И., Фалъкевич Э.С., Червоный И.Ф.//Язв. АН СССР. Неорганические материалы. 1980. Т. 16. N011. С. 2047—2048.
242. Ватанабэ Масехибз//Дэнси Гидзюцу. 1987. Т. 29. N0 11. С. 22—26.
243. Балыченко А.А., Головин А.Л., Иманов PM. и др.//Высокочистые вещества. 1987. N0 5. С. 210-217.
244. Неймарк К.Н., Шейхет Э.Г., Литвинова If.JD., Фалъкевич Э.С.ЦИзв. АН СССР. Неорганические материалы. 1979. Т. 15. N0 2. С. 184—187.
245. Зонная плавка: Сб. переводных статей/Под ред. В.Н. Вигдоровича. - М.: Металлургия, 1966. С. 55-63; 64-70.
246. Неймарк К.Н., Осовский М.И., Червоньш И.Ф.//Цветные металлы. 1978. N0 4. С. 50—52.
247. Осовский М.И., Неймарк К.Н., Фалъкевич Э.С и др.//Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок. — В 2-х ч. Ч.2./Под ред. Ф.А. Кузнецова, Л.Н. Александрова. — Новосибирск: Наука, 1975. С. 208—211.
248. Кравцов A.A., Червоный И.Ф.//Цветная металлургия. 1986. Nb 4. С. 28—30.
249. Неймарк /Ctf.//Кремний и германий: Науч. тр. Гиредмета/Под рея. Э.С. Фалъкевича, Д.И. Левинзона. — М.: Металлургия, 1974. Вып. 3. С. 43—47.
250. Бевз В.Е., Осовский М.И., Стерликов ДО.Я.//Цветные металлы. 1977. N0 6. С. 46—47.
251. Кравиов A.A., Червоный И.Ф., Шкляр Б.Л.ЦЦветные металлы. 1987. N0 7. С. 76—77.
252. Веселкова А.А., Осовский М.И., Фалъкевич Э.С. и др.//Кремний и германий. — М.: Металлургия, 1969. Вып. 1. С. 29—31.
253. Кремний и германий. — М.: Металлургия, 1969. Вып. 1. С. 18-24; 1970. Вып. 2. С. 27-32.
254. Бугай O.A., Фалъкевич Б.С, Прій В.A., Шаховцов В.Г.//Вісиик АН УРСР. 1983. N0 9. С. 5-11.
255. Lark-Horowitz KJ/tioc. Conf. Uniy. Reading. London—Butterworths. 1951. P. 47—50.
256. Tanenbaum M., Mills A.D.//I. Electrochem. Soc. 1961. V. 108. P. 171-176.
257. Бевз B.E., Гашенко СИ., Осовский М.И. //Цветные металлы. 1979. N0 11. С. 77—79.
258. Janus Н.М., Malmros О.І/IEEE Trans. Electron Devices. 1976. ED-23. Г 8. P. 797-802.
259. GraffK., Pieper H. //Phys. Stat. Sol. 1928. У. A49, N01. P. 137-144.
260. Саидов M.C., Султанов Н.И., Ахмеджанов М.Р.ЦИзв. АН УзССР: Физико-математичес-кие науки. 1965. N0 2. С. 72-74.
261. Абдулаев Г.Б., Чеконов В.Е., Искандер-заде З.А., Джафарова Э.С.//Радиотехника и электроника. 1966.11. № 6. С. 1151-1154.
262. Глинчук К.Д., Литовченко Н.М.//Укр. физ. журнал. 1965. N010. С. 172—177.
263. Гошек JC.//Czechosl. I. Phus. 1970. В. 20. № 2. S. 222-225.
264. Глинчук К.Д., Лшовченко HM., Сальников З.А., Скрыль С.И.//Оптоэлекгроника и полупроводниковая техника. 1984. N0 6. С. 24-29.
265. YangK-H., KapperstHF., Schwutke G.H.IIPhys. Stat. SoUdi. 1978. V. ASO. N0 I. р. 221-235.
266. Неймарк К.Н., Трубицын Ю.В., Червоный ЙФ.//Цветные металлы. 1990. N0 10.
267. Austin P.R. Design and operation of clean rooms. — Detroit — Michigan: Business News Publiching Company. 1970. —198 c.
268. Куприянов И.П. Технологический микроклимат. — М.: Советское радио, 1976. — J 76 с.
269. Девятых Г.Г., Чурбанов М.Ф.//Журнал Всесоюзного химического общества. 1984. № 6. С. 6-14.
270. Рожков И.В., Алмазов O.A., Ильинский А.А. Получение жидкого водорода. — М.: Химия, 1968. —198 с.
436
271. Архоров AM., Беляков В.П., Микулин Б.И. Криогенные системы. - М.: Машиностроение, 1987. — 536 с.
