Справочник работника механического цеха - Каценеленбоген М.Е.
Скачать (прямая ссылка):
свечение практически пропадает. Эту область давлений называют «черным» вакуумом.
Вакуумные манометры, измерение вакуума, (см. Сравнительная характеристика, стр. 87; Типы манометров, стр. 209; Ионизационные манометры,, стр. 215, 157—159, 209, 437, Манометр Пирани, стр. 209, 301 Термопарные манометры стр. 209, 397).
Вакуумные системы (см. стр. 53, 68, 220). •
Вакуумные системы, отключение (см. стр. 55).
Вакуумные системы разборные. В вакуумных системах, требующих быстрой и частой разборки, используется целый ряд разъемных узлов и соединений, например фланцы, окошки и дверцы, колпаки и др. Они могут крепиться как болтами, так и накидными гайками и т. п.
Во многих случаях, в частности, при вакуумной металлизации, а также в разнообразных вакуумных установках для пищевой, химической и металлургической промышленности допустимо использование прокладок из обычной (неопрен) [Л. 1] или силиконовой резины (см. стр. 195—197), применение смазываемых шлифовых уплотнении и переходов на стекло пайрекс с неопреновыми прокладками [Л. 2, 9]. Такие уплотнения нельзя, разумеется, обезгаживать путем нагревания до температур, сколько-нибудь превышающих допустимые рабочие температуры смазок или прокладок. Тефлоновые плоские, кольцевые и V-образные уплотнения выдерживают несколько более высокие температуры. Однако в тех случаях, когда необходим нагрев до 450 °С или выше, следует применять металлические прокладки (см. стр. 78, 79) обычно из бескислородной меди [Л. 3—7] или алю-
114
Минин маржи 1 100 [JI. 8]. Прокладки «перед использованием следует тщательно отжигать.
Бескислородную медь отжигают обычно при 800 °С в водороде.
Трубопроводы из стекла пайрекс [Л. 2, 9], которые (применяются ©о многих вакуумных установках ((рис. 44), обычно изготовляют из толстостенных трубок на стеклоформующих машинах. Фирма Corning Glass Works 'поставляет трубопроводы диаметром 25, 38, 54, 75 и 100 мм. Трубки диаметром 6,4; 9,6; 12,7; 19,2 и 25,4 мм изготовляет фирма Fisher and Porter Со. (США). Приведенные размеры соответствуют внутреннему диаметру трубок. Поставляются также различные комплектующие детали, включая угловые элементы (угол изгиба 90 и 45°), диафрагмы и переходные трубопроводы переменното сечения, угловые переходы, колпаки, поддоны, тройники и перекрестия, U-образные колена, краны, металлические фланцы и обоймы, неопреновые и тефлоновые прокладки.
Изображенная на рис. 44 канавка >в стеклянном фланце непригодна для уплотнения круглой кольцевой прокладкой [Л. 2]; в этом случае надежное уплотнение обеспечивается неопреновой прокладкой. Тефлоновые прокладки фирмы Корнинг при установке в канавку фланца оправляют и фиксируют их внешней металлической обоймой, что гарантирует точность монтажа уплотнения.
ЛИТЕРАТУРА
1. Moored. R., Rev. Sci. Instr., 1958, № 29, p. 737.
2. CohnC. E., ibid., 1900, № 31, p. H65.
3. P a 11 e e H. H., Jr., ibid., 19Э4, № 25, p. 1132.
4. J. van Heer den, ibid., 1955, '№ 26, p. 1<130.
5. W i 11 i a m s N. Т., ibid., 1955, № 26, p. 1207.
6. P. J. van H e e r d e n, ibid., 1956, № 27, p. 410.
7. L a n g e W. J. and A 1 p e r t D . ibid., 4957, № 28, p. 726.
8. F о о t e T. and Harrington D B., ibid., 4957, № 28, p. 585.
9. Holland L, Trans. Amer. Vacuum Soc., 7 Ann. Symp., p. 172, Pergamon Press New York, 1961.
10. К i n g J. G., Amer. J. Physics, 1963, т. 31, № 4.
Вакуумный отжиг деталей электронных приборов (см. стр. 53 и далее).
Вводы сквозные. Электрические вводы в вакуумные системы изготовляют обычно с применением спаев металлических проводников со стеклом или керамикой. В качестве материала для вводов в стеклянные и металлостеклянные лампы используют Платинит (стр. 41, 308), Ковар (стр. 40, 43, 45, 180), Вольфрам (стр. 42, 45, 46) и другие металлы. В настоящее время разъемные и неразъемные низковольтные и высоковольтные вводы в виде спаев с стеклом или керамикой (см. стр. 49—52) поставляются рядом фирм. Для уплотнения разборных вводов применяют кольцевые прокладки круглого сечения (стр. 114, 195—198) из неопрена, силиконовой резины, тефлона и других материалов [Л. 1, 2].
ЛИТЕРАТУРА
1. D е v i 1 1 i е г s J. W. L , Dev. Sci. Instr., 1958, № 29, p. 527.
2. WiederH., SmiihA W., Rev. Sci. Instr., 1958, № 29, p. 794.
Рис. 44. Разборное вакуум ное уплотнение, изготовленное из стекла пайрекс. Фланец металлический с медным штуцером, который можно отпаять без нагрева. Систему электродов можно смонтировать на нижней стороне металлического фланца.
1 — тефлоновая прокладка, 2 — трубка из стекла пайрекс 3 — канавка- 4 — штенгель для откачки; 5 —¦ металлический фланец, 6 — фланец из стекла кор-нинг, 7 — прокладка.
8*
115
Вентиль байпасный. Вентиль, позволяющий непосредственно сообщать форвакуумный насос € откачиваемой вакуумной камерой, минуя диффузионный насос, что дает возможность ускорить повторную откачку системы после напуска атмосферы. Вентиль 7 на рис. 17 используется как байпасный.
Вентиль «воздушный». В некоторых вакуумных системах вблизи форвакуумного насоса располагают небольшой вентиль или стеклянный кран, имеющий двойное назначение. В разборных системах (см. рис. 17, поз. 11) этот вентиль может быть использован для измерения давления, при испытании на герметичность и-т. п. Он служит также для напуска воздуха в рабочую камеру установки по окончании испытаний, что позволяет открыть камеру или снять вакуумный колпак. Небольшой кран, располагаемый на стеклянных откачных системах (рис. 21) рядом с формакуумным насосом, служит для поддува воздуха во время стеклодувных работ по ремонту установки.
