Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Визуализированный воздушный поток можно фотографировать со вспышкой, но из-за диффузии дыма фотографии обычно не получаются очень четкими. Видеосъёмка движения дыма дает более четкое представление о воздушном потоке. Видеоснимки могут быть улучшены, если отключить обычное освещение чистого помещения, а дым выделить боковой подсветкой.
11.2.1.3 Скорость и направление движения воздуха
Полная картина воздушных потоков внутри чистого помещения может быть получена путем измерения скорости и направления движения воздуха по
Контроль движения воздуха между чистыми помещениями и внутри них
141
всему сечению помещения. Помощь в этом окажет установленная в помещении сетка. Для её монтажа следует установить в помещении стойки высотой до потолка и натянуть между ними прочные нити, например, 4-фунтовые нейлоновые, которые применяются при рыбной ловле.
На нитях делается разметка с заданными интервалами, например, 10 или 20 см (4 дюйма или 8 дюймов), так, чтобы эти точки были доступны для измерения скорости и направления воздушного потока. Измерения можно проводить с помощью многонаправленного анемометра, который дает значения скорости воздуха по осям XhY или по осям X, Y и Z. Анемометры такого типа дороги, но и обычный анемометр с прикрепленным к нему стримером, показывающим направление движения воздуха, даст вполне приемлемые результаты, особенно в случае, если воздушный поток однонаправленный, и достаточные данные, представляющие результаты в двух измерениях.
На рис. 11.5 показана двумерная картина скоростей и направлений движения воздушного потока, распространяющегося в чистом помещении от чистого
^вытяжка
НЕРА-фильтры
вертикальный навес
*
/ -39 ‘•30 /-29 г38
\ *
/-36 \ -31 / /-24 f -38
/ -41 f \ -29 -24 ? і Г30 і Ф ,-38 *
•36 Ч '-24 *-32 4 ,-50 f-41
L U •Ґ '31, / /-29 #-36 * ¦37 t f-30 і высота
1-24 *'•' *-24 0' Г'24 9 • = < 0.2 м/с
^.-31 -31 л-29 «Г
Рис. 11.5. Направление и скорость воздушного потока, распространяющегося в чистом помещении от чистого рабочего места с однонаправленным потоком воздуха
142
Технология чистых помещений
рабочего места с однонаправленным потоком воздуха. Фильтр, через который на рабочее место поступает воздух, имеет размеры 3 м х 3 м (10 футов х 10 футов) и окружен по периметру стенками вертикального навеса, которые оканчиваются на высоте 2 м (6 футов) над полом. Воздушная вытяжка устанавливается на потолке по периметру наружной части вертикального навеса. На рисунке показана только половина системы. Длина стрелок, приведенных на рисунке, пропорциональна величине скорости воздуха.
Из приведенной схемы видно, что поступающий воздух достигает уровня рабочего стола, а дальнейшее движение воздушного потока в сторону вытяжки препятствует попаданию извне загрязнений на чистое рабочее место, и, соответственно, защищает от загрязнений операции, проводимые на рабочем столе.
11.3 Метод измерения времени восстановления характеристик чистого помещения
Описанные выше процедуры относятся к качественным методам, используемым для демонстрации того, что на критические участки поступает достаточное количество чистого воздуха. Ho возможен и количественный подход к подобным измерениям.
Если в исследуемый объём помещения вводятся тестирующие частицы, то скорость их удаления зависит от эффективности воздушного потока: чем лучше организовано движение потока и чем большее количество воздуха поступает на исследуемый участок, тем быстрее происходит снижение концентрации частиц.
Для проведения измерений следует включить на короткое время генератор тестовых частиц, и после того, как они распространятся в окружающем пространстве, с регулярными интервалами измерять концентрацию находящихся в воздухе аэрозольных частиц. Рекомендуемое время прекращения измерений соответствует моменту регистрации значения в одну сотую часть от первоначальной концентрации, а время, необходимое для достижения этого, может быть использовано как показатель эффективности работы чистого помещения. Однако этот метод чувствителен к образованию частиц в пределах исследуемого участка или к заносу их извне. До начала испытаний необходимо убедиться в том, что в границах участка нет генерации частиц и что они не заносятся в него извне.
Благодарности
Рисунок 11.3 воспроизводится с разрешения фирмы Clean Air Solutions.
12
Контроль дефектов установленных фильтров
Частью программы испытаний чистого помещения является определение соответствия качества подаваемого в чистое помещение воздуха решаемой задаче, т.е. специфике проводимых в нем работ. Высокоэффективные фильтры должны обеспечивать эффективное улавливание частиц из поступающего воздуха. Значения эффективности фильтров должны соответствовать величинам, заложенным в проект чистого помещения, однако измерение эффективности фильтров в данной главе не рассматривается (необходимая информация приводится в главе 8).
А - зона уплотнения (склейки)
фильтровальной бумаги и корпуса фильтра В - фильтровальная бумага (обычно - на линиях сгибов) С - прокладка D - стыки панелей корпуса
