Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка):
414
штрих равен 10 мкм; штрихи шириной до 4 мкм могут быть получены при нанесении воска из батистового мешочка или разравнивании его тонкой эластичной пленкой.
Химическое травление стеклянных деталей по защитным маскам (И. 7) проводят в растворах плавиковой кислоты или ее парах. Для предотвращения высыпания (выкрашивания) светопоглощающих или отражающих составов, заполняющих вытравленные штрихи, поверхность последних должна быть шероховатой (матовой).
В механовакуумных процессах (III.8) для получения защитных масок применяют термостойкие лаки из полимеров. Вакуумные покрытия, из которых создают рисунок шкал и сеток, после деления наносят на выгравированную защитную маску из полимера. Непрозрачное хромовое покрытие в зависимости от способа вакуумного нанесения имеет толщину в пределах 0,15-0,3 мкм. Рисунок шкал и сеток после нанесения покрытия выделяют растворением полимерной лаковой пленки.
Фототехнологические процессы изготовления шкал и сеток (техника точной фотографии) подразделяются на фотографические, фотолитографические и фотополиграфические.
Фотографические процессы позволяют получать в светочувствительном слое, нанесенном на подложку, амплитудное или ампли-тудно-фазовое изображение посредством комплекса операций, включающих экспонирование фотослоя, проявление и закрепление изображения с возможным последующим избирательным окрашиванием рабочей поверхности детали или фотослоя, в котором образовано изображение шкал и сеток.
Фотолитографические процессы обеспечивают получение изображения шкал и сеток методами травления или нанесения слоя пленкообразующего вещества по защитным рельефным маскам, образованным на поверхности заготовок из слоя высокомолекулярного светочувствительного соединения (композиции) путем его экспонирования и последующего проявления рельефного изображения.
Фототехнологические процессы позволяют изготовлять шкалы и сетки со штрихами шириной до 1,25 мкм и щели в тонколистовом металле (фольге) — до 2,5 мкм. Большинство фототехнологи-ческих процессов состоит из двух этапов: 1) изготовление фотошаблона (негатива); 2) получение самих шкал и сеток фотографическим или фотолитографическим методами копирования изображения фотошаблона на светочувствительном слое, нанесенном на заготовки.
Фотошаблоны получают указанными в табл. 7.16 граверноделительными способами (1.1,1.3, II.5, III.8), а также фотографическими способами, схема которых приведена на рис. 7.38.
В трехступенчатом процессе изготовления фотошаблонов (рис. 7.38) 1-й ступенью является создание в увеличенном масштабе оригинала на прозрачной или непрозрачной (отражающей)
415
\Двухступенчатый\ Одноступенчатый^
1-я ступень *
Изготовление оригинала Чертежи, аппликация, координатограф
2-я Изготовление промежуточного фотошаблона Репродуцирование Репродуцирование с мультиплицированием Генератор изображения, запись на ВР-сротослоях
Т
Е
З-я
Изготовление эталонных и рабочих, фотошаблонов
Контактное или проекционное копирование Проекционное копирование сизменением масштаба
Проекционное копирование с мультиплицированием
Генератор изображений, микронаоорная уста -новка
Лазерный фотопостроитель
Запись на сроторезис-ты, пленки хрома
Рис. 7.38. Схема процесса изготовления фотошаблона
подложке. При изготовлении тестов, таблиц и печатных плат невысокой точности оригиналы вычерчивают на ватмане или получают методом аппликации. Более точные оригиналы вычерчивают на ватмане, натянутом на стеклянные пластины (точность± 0,3 мм), нарезают или по черному нитролаку, нанесенному на плоское стекло, или по верхнему светопоглощающему (красному) слою специальной двуслойной пленки. Черный, нитролаковый, и верхний, красный, слои после вырезания удаляют. Нарезают с помощью резцов на координатографах [7.49, 7.58]. Современные автоматические координатографы дополнительно снабжены фотоголовками, позволяющими выполнять запись топологии шаблона на фотослои. Координатографы, имеющие фотоголовки, применяют в трех- и двухступенчатых процессах изготовления фотошаблонов. Основные характеристики некоторых автоматических координатографов приведены в табл. 7.17.
Предварительный (промежуточный) фотошаблон (2-я ступень процесса) получают с помощью репродукционных (редукционных) фотокамер, снабженных набором объективов. Технические характеристики репродукционных фотокамер приведены в табл. 7.18, более подробные сведения о них имеются в работах [7.49, 7.58, 7.59]. Объективы репродукционных камер преимущественно рассчитаны на длину волны Х = 546 нм. В этой области спектра наиболее чувствителен глаз человека, а применяемые галогенидосереб-ряные материалы имеют необходимую спектральную сенсибилизацию и обладают наибольшей разрешающей способностью.
Для получения окончательных фотошаблонов (эталонного и рабочего) уменьшают изображение промежуточного фотошаблона (З-я ступень), а при необходимости его мультиплицируют с помощью точных репродукционных фотокамер или фотоповторителей [7.49, 7.58, 7.60, 7.61].
Двух- и одноступенчатые процессы получения фотошаблонов позволяют исключить изготовление оригиналов. Для формирова-
