Легирование полупроводников методом ядерных реакций - Смирнов Л.С.
Скачать (прямая ссылка):
3.1. Генерация простейших радиационных дефектов...........
3.2. Типы радиационных дефектов в кремнии.................
3.3. Накопление радиационных дефектов.....................
¦3.4. Взаимодействие радиационных дефектов с различными
несовершенствами кристаллической решетки ... . .
3.5. Отжиг радиационных дефектов..........................
3.6; Радиационно-ускоренная диффузия ...........
3.7. Радиационные дефекты в германии ..........
3.8. Радиационные дефекты в бинарных соединениях . . . , Литература........................... ....................
Глава 4. Технология ядерного легирования кремния . . . . .
4.1. Технологическая схема процесса ядерного легирования
4.2. Обеспечение равномерного облучения слитков в ядерных реакторах..............................................
4.3. Отжиг................................................
4.4. Электрофизические свойства ядерпо-легировапиого кремния .............................. ....................
4.5. Влияние предыстории материала и параметров нейтронного потока на электрофизические свойства ядерно. легированного кремния . . .'..................... . . . .
4.6. Радиоактивность яде рно-л с тированного кремния . . . .
4.7. Применение ядерно-легированного кремния в производстве приборов . .......................................
4.8. Применение метода ядерных превращений для других материалов ...................... .........................................
Литература . ...........................................
Леонид Степанович Смирнов,
Сергей Петрович Соловьев, Владимир Федосеевич Стась, Вячеслав Александрович Харченко
ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ МЕТОДОМ ЯДЕРНЫХ РЕАКЦИЙ
Ответственный редактор Леонид Степанович Смирнов
Утверждено к печати Институтом физики полупроводников СО АН СССР
Редактор издательства Л. Н. Спиридонова Художественный редактор Т. Ф. К а м и н и н а Художник В. В. П о д гг о п а е в Технический редактор А. в. Сурганова Корректоры О. А. М а к е е в а, А. М. Картавит
ИБ № 10687
• . А
Сдано в набор 18.12.79. Подписано к печати 12.01.81. МН 05331. Формат 60x90/16. Бумага типографская № 2. Обыкновенная гарнитура. Высокая печать. Уел. печ, л. 11,5. Уч.-Изд, л. 12,5. Тираж 1500 экз. Заказ № 777. Цена 1 р. 90 к.
Издательство «Наука», Сибирское отделение. 630099, Новосибирск, 99, Советская, 18.
4-я типография издательства «Наука». 630077, Новосибирск, 77, Станиславского, 25.
СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИЗДАТЕЛЬСТВА «НАУКА» готовит к выпуску в 1981 г. следующие книги:
Нитрид кремния в электронике. Белый В. И., Васильева Л. Л., Гриценко В. А. и др. 17 л. 3 р. 10 к.
Электроду говые генераторы с межэлектродными вставками. Жуков М. Ф., Аныпаков А. С., За-сыпкин И. М. и др. 14 л. 2 р. 60 к.
Расчет и конструирование АПВ-филътров. 14 л. 2 р. 10 к.
Заславский Г. М., Мейтлис В. П., Фияонеико Н. Н. Взаимодействие волн в неоднородных средах. 11 л. 1 р. 70 к.
Геллер Ю. И., Попов А. К. Лазерное индуцирование нелинейных резонансов в сплошных спектрах. 10 л. 1 р. 50 к.
Гольдштик М. А. Вихревые потоки. 20 л. 3 р. 50 к.
Бузник В. М. Ядерный резонанс в ионных кристаллах. 14 л. 2 р. 60 к.
Миронов В. Л. Распространение лазерного пучка в турбулентной атмосфере. 17 л. 2 р. 60 к.
Точные решения релятивистских волновых уравнений. Багров В. Г., Гитман Д. М., Тернов И. М. и др. 8 л. 1 р. 20 к.
Книги высылаются наложенным платежом. За пазы направляйте по адресу: 630090, Новосибирск 90, Морской пр., 22, магазин «Наука».
Книги можно предварительно заказать в магазинах ральной конторы «Академкнига». Для получения книг заказы просим направлять по адресу: .
480091 Алма-Ата, ул. Фурманова, 91/97;
370005 Баку, ул. Джапаридзе, 13;
320005 Днепропетровск, проспект Гагарина, 24; 734001 Душанбе, проспект Ленина, 95;
335009 Ереван, ул. Туманяна, 31;
664033 Иркутск, ул. Лермонтова, 289;
2520.30 Киев. ул. Ленина, 42;
277001 Кишинев, ул. Пирогова, 28;
343900 Краматорск Донецкой обл., ул. Марата, 1;
'¦ 660049 Красноярск, проспект Мира, 84; .
443002 Куйбышев, проспект Ленина, 2;
192104 Ленинград, Д-120, Литейный проспект, 57;
220012 Минск, Ленинский проспект, 72;
103009 Москва, ул. Горького, 8;
117312 Москва, ул. Вавилова, 55/7;
630076 Новосибирск, Красный проспект, 51;
142292 Пущине Московской обл., «Академкнига»; 620151 Свердловск, ул. Мамина-Сибиряка, 137; 700029 Ташкент, ул. Ленина, 73; ,
634050 Томск, наб., реки У шайки, 18;
450059 Уфа, ул. Р. Зорге, 10;
720001 Фрунзе, бульвар Дзержинского, 42;
310003 Харьков, ул. Чернышевского, 87;
