Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Малакара Д. -> "Оптический производстенный контроль" -> 26

Оптический производстенный контроль - Малакара Д.

Малакара Д. Оптический производстенный контроль — М.: Машиностроение, 1985. — 400 c.
Скачать (прямая ссылка): opticheskiyproizvod1985.djvu
Предыдущая << 1 .. 20 21 22 23 24 25 < 26 > 27 28 29 30 31 32 .. 155 >> Следующая


46. Sinclair D. C, Bell W. E. Gas Laser Technology, Holt, Rineliart d Winston, New York, 1969, Chap. 5.

47. Slevog H. Zur geometrischen Optik der Zweistrahl-Interferonieler. — Optikr 11, 366 (1954).

48. Smith T. The Theory of Ihe Lens-Testing Interferometer.— Iran = . Opt. Soc, 28, 104 (1926—1927).

49. Steel W. H. Adjustable Compensators for Two-Beam Interferometers — Opt. Acta, 9, IM (1962).

50. Steel W. H. Tlie Compensation of a Williams Interferometer. — Opt. Acta, 10, 206 (1963).

51. Steel W. H. Two-Bean Interferometry.— In: Progress in Optics, Vol. 5, E. Wolf, Ed, North-Holland, Amsterdam, 1966, Chap. 3.

52. Thomas D. A, Wyant J. C. Determination of the dihedral angle errors of corner cube from its Twvman—Green interferogram.—J. Opt. Soc. Am. 67, 466 (1977).

53. Tvvyman F. Correction of Optical Surfaces. — Astrophys. J, 48, 256 (1918a).

54. Twyman F. Interferometers for the Experimental Study of Optical Svstems from Ihe Point of View of the Wave Theory.—Philos. Mag, Ser. 6, 35, 49 U918b).

55. Twyman F. British Patent (camera lens) 130224 (1919).

56. Twyman F. The Testing of Microscope Objectives and Microscopes by In-terferometry. Trans. Faraday Soc, 16, 208 (1920).

57. Twyman F. An Interferometer for Testing Camera Lenses. — Trans. Opt. Soc, 22, 174 (1920—1921); Philos. Mag, 42, 777 (1921).

58. Twyman F. The Hilger Microscope Interferometer. — Trans. Opt. Soc, 24, 189 (1922—1923).

59. Twyman F. Prism and Lens Making, Hilger and Watts, London, 1957, Chaps. 11 and 12.

60. Twynian F, Dallariay A. J. Variation in Refractive Index near the Surfaces of Glass Melts.— Trans. Opt. Soc, 23, 131 (1921 — 1922).

61. Twyman F., Green A. British Patent (prisms and microscopes) 103832 (1916).

62. U. S. Department of Defense. Military Handbook 141 (Mil-HDBK-141), Sections 16 and 25.

63. Van Heel A. C. S., Simons C. A. J. Lens and Surface Testing with Compact Interferometers. — Appl. Opt, 6, 803 (1967). ГЛАВА З

Интерферометры с совмещенными ветвями

С. Маллик

3.1. ВВЕДЕНИЕ

В интерферометрах обычного типа (Тваймана — Грина, Маха — Цендера и др.) эталонная и рабочая ветви широко разнесены друг от друга и световые лучи, идущие в них, неодинаково реагируют на вибрацию и температурные колебания. В результате, если не принять необходимых мер, интерференционная картина в плоскости наблюдения становится неустойчивой, а измерения невозможными. Особенно остро стоит эта проблема при контроле оптических .систем с большой апертурой. Указанный недостаток отсутствует в интерферометрах с совмещенными рабочей и эталонной ветвями. Для них не требуется эталона тех же размеров, что и контролируемая деталь. Более того, разность оптического "хода лучей в центре поля зрения таких интерферометров обычно равна нулю, что позволяет использовать источник белого света.

В некоторых конструкциях интерферометров эталонный пучок света захватывает лишь небольшую часть контролируемой поверхности и поэтому не искажается ее аберрациями. Результатом его интерференции с рабочим пучком, заполняющим всю апертуру исследуемой детали, становится полная информация о дефектах объекта контроля. Следует отметить, что в большинстве интерферометров для получения интерференции эталонный и рабочий пучки сдвигают относительно друг друга. Получаемая при этом картина имеет сложный вид, и требуются дополнительные вычисления для определения формы деформированного волнового фронта.

Разделение пучков осуществляют с помощью полупрозрачной пластины или двулучепреломляющего кристалла. Рассмотрим некоторые типы таких интерферометров.

3.2. ИНТЕРФЕРОМЕТР БЕРЧА С ДВУМЯ СОГЛАСОВАННЫМИ РАССЕИВАЮЩИМИ ПЛАСТИНАМИ

На рис. 3.1 изображена схема интерферометра Берча для контроля вогнутого зеркала M [1—3]. Объектив L образует на зеркале изображение S' точечного источника S. Разделение пучков осуществляется слаборассеивающей пластиной R1, расположенной в центре С кривизны зеркала. Две идентичных рассеивающих пластины /?і и R2 могут быть получены, например, фотографированием спекл-картпны или изготовлением реплик с тонкошлифованной поверхности [11]. Зеркало M формирует изображение R1 на соответствующим образом расположенной пластине R2. Полупрозрачная пластина В направляет лучи, отраженные от зеркала М, на R2.

Часть света, падающего на пластину Ru проходит через нее не рассеиваясь, и попадает в точку S'. Поскольку этот пучок падает на зеркало M лишь в пределах малой площадки вокруг S', он не подвергается воздействию дефектов поверхности и может использоваться в качестве эталонного. Другая часть падающего света рас-

36 67 и

сеивается на пластине R1 и заполняет всю апертуру зеркала Л1„ выявляя его дефекты и выполняя функции рабочего пучка.

Проследим путь лучей, падающих в точку А на рассеивающей пластине R1. Проходящий прямо луч (сплошная линия на рис. 3.1) распространяется по пути AS'А' и встречает в точке А' рассеивающий центр, идентичный центру в точке А. Здесь он рассеивается п. образует конус лучей. Лучи рассеиваются в точке А (штриховая линия), заполняют зеркало Al, попадают в точку А' н проходят через пластину R2 без рассеивания. Таким образом, мы имеем два взаимно когерентных пучка лучей, исходящих из пластины R2- Одни из них напрямую проходит через пластину R1 и рассеивается на пластине R2, другой рассеивается на пластине R1 и пропускается: пластиной R2. Наблюдатель, глядя на зеркало через пластину R2y увидит образованную лучами интерференционную картину. Если, зеркало не имеет дефектов в области Sf, интерференционная картина дает подробную информацию о его аберрациях, как и при использовании любого интерферометра с разделенными ветвями.
Предыдущая << 1 .. 20 21 22 23 24 25 < 26 > 27 28 29 30 31 32 .. 155 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed