Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
Harris S. J. The Universal Fizeau Interferometer, Ph. D. Thesis, University of Reading, England, (1971).
Hodgkinson I. J. A Method for Mapping and Determining the Surface Defects Function of Pairs of Coated Optical Flats.— Appl. Opt., 8, 1373 (1969).
Hunt P. G. Optical Cements: A. Laboratory Assessment.— Opt. Acta, 14, 401
(1967).
Kontievskiy Yu. P., Klochkova 0. A., Perezhogin A. Ya. An Improved Two-Beam Interferometer, Sov. J. Opt. Technol., 35, 559, 1968. (оригинал на русском языке: Оптико-механическая промышленность, 1O68, № 9, с. 24).
Laurent М. L. Snr Plusieurs Appareils d'Optique, Destines a Coniroler Ies Suriaces Planes: Paralleles, Perpendiculares et Obliques.— С. R. Acad., Sei. (Paris), 94, 134 (1883).
Mareau B. C., Hopkins R. E. Application of Wax to Fine Ground Suriaces to S-HiuiaIe Po.iah.—Appl. Opl., 8, 2150 (1969).
Polster H. D. Tlie Determination of the Absolute Contours of Optical Flats,
11. — Appl. Opt., 7, 977 (1968).
Primak W. The Determination of the Absolute Contours of Optical Flats. — Appl. Opt., 6, 1917 (1967).
Schulz G. Scnwider J. Precise Mieasurement of Planeness. — Appl. Opt., 6, 1077 (і 967).
Sen D., Puntambekar P. N. An Inverling Fizeau Interferometer.— Opt, Acta,
12. 137 (1965).
40 Интерфсромеї р Хайдингера
Bergman Т. 0., Thompson J. L. An Interference Method for Determining the Degree (if Parallelism of (Lazer) Surfaces. — Appl. Opt., 7, 923 (1968).
Ford D. L., Shaw J. H. Rapid /Method of Aligning Fabrv-Perot Etalons.— AppL Opt., 8, 2555 (1969).
Hiilenkanip F. Note on the Interference Method for Determining the Degree of Parallelism of Lazer Surfaces.--Appl. Opt., 10, 1982 (1971).
Raman С. V., Rajagopalau V. S. Haidinger's Fringes in Non-uniform Plates-Philos. Alag., Ser. 7, 29, 508 (1939).
Raman С. V., Rajagopalan V. S. FIaidingcr Interference in Curved Plates.— .1 Opt. Soc. Am., 29, 413 (1939).
Roesler F. L. Mapping of FIigh Quality Optical Flats without Coating. — J. Opt. Soc. Am., 52, 471 (1962).
Roesler F. L., Traub W. Precision Mapping of Pairs of Uncoated Optical Fiats.—Appl. Opt., 5, 463 (1966).
Schonrock O. Testing Planeness of Surfaces by Flaidinger's Rings. — Z. Inst-rumentenkd, 59, 31 (1939). ГЛАВА 2 Интерферометр Тваймана-Грина
Д. Малакара
2.1. введение
Интерферометр Тваймана — Грина является модификацией интерферометра Майкельсона, используемого для контроля деталей и узлов оптических приборов. Он был предложен и запатентован Твапмапо.м и Грином [61] для контроля призм и микрообъективов и позднее приспособлен для контроля фотообъективов [55]. Первые публикации е описанием интерферометра принадлежат Твай-маиу [54, 5с—581. Прибор оказался настолько эффективным п популярным, что его подробному описанию посвящено большое количество обзорных статей [7J и книг [Il1, 1,4, 1:5, 59, 62].
На рис. 2.1. представлена одна из типовых схем интерферометра Тваймана— Грииа. Fl},'чок спета ог квази.монохроматического точечного источника света кол.шмируется сбьекінвом Li для создания плоского волнового фронта, который затем разделяется светоделителем на две части. Отразившись от зеркал All и Al2, лучи вновь сходятся на полупрозрачной поверхности А и образуют две интерференционные картины. Одна картина направляется к объективу L2l другая возвращается к источнику света. Апертура объектива такова, что лучи, прошедшие ее, заполняют все поле зрения. Наблюдаемые при этом полосы являются полосами равной толщины.
Легко заметить, что основная п побочная интерференционные картины полностью дополняют друг друга, т. е. яркой полосе одной из них соответствует темная полоса другой, и наоборот. Зі о явление вытекает из закона сохранения энергии и справедливо даже в случае, если 'разность оптического хода равна нулю.
Интересно отметить, что Мапкельсон не считал этот прибор пригодным для контроля крупногабарпіных оптических деталей и указывал на то, что устройство, которое сейчас называю і неравиоплечнм интерферометром, нельзя использовать из-за отсутствия достаточно когерентных источников света [36]. Твай-ман [53] возражал ему, ссылаясь на то, что запатентованное им устройство [61], изображенное на рис. 2.2, предназначено для контроля больших линз и зеркал. Для его работы не нужны большие коллиматор и светоделитель, но, к сожалению, при использовании источников с недостаточной когерентностью размер сферического эталонного зеркала Af1 должен равняться размеру контролируемой поверхности. Это устройство часто называют [10, 15. 20] интерферометром Вильямса.
На рис. 2.3 изображен внешний вид интерферометра Тваймана — Грина, используемого в лабораторных условиях. Среди его многочисленных вариантов наибольший интерес представляют компактные устройства, созданные Ван Хилом и Симонсом [63].
Не менее интересен недорогой прибор, ошибки которого корректируются с помощью голограммы [44]. Сначала на интерферометре, имеющем большой наклон, получают фотографию, фиксирующую набор очень точных, невидимых для глаза полос. Затем в прибор вводят контролируемую деталь п вторично экспони-р\ют фотопластииу. При проявлении на ней возникает »паровая картина, характеризующая погрешности контролируемой поверхности.
