Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
Она используется обычно для топографирования поверхностей с точностью, меньшей л/2. Полосы при этом могут быть смещены и сдетектирозаны, так как имеют периодическую природу.
список литературы
1. Bennett W. R. Methods of Solving Noise Problems, Proc. IRE, 44, 609 (1956).
2. Bruning J. H., Herriott D. R., Gallagher J. E., Rosenfeld D. P., White A. D., Brangaccio D. J. Digital Wavefront Measuring Interferometer for Testing Optical Surfaces and Lenses, Appl. Opt., 13, 2693 (1974).
3. Bryngdahl 0. Polarization-Type Interference-Fringe Shifter, J. Opt. Soc. Am., 62,462(1972).
4. BurgwaId G. M., Kruger W. P. An Instant-On Laser for Length Measurement. Hewlett Packard Journal, 21, 14 (1970).
5. Crane R. K- Interference Phase Measurement, Appl. Opt., 8, 538 (1969).
6. Dukcs J. N.. Gordon G. B. A Two-Hundred-Foot Yardstick with Graduations Every Microinch, Hewlett Packard Journal, 21, 2 (1970).
7. Gallagher J. e., Herriott D. R. Wavefront Measurement for the Evaluation of
8. Hays P. B., RobIe R. G. A Teclinique for Recovering Doppler Line Profiles Photolithographic Lenses and Components, Topical Meeting on the Use of Optics in Microelectronics, Optical Society of America, Jan. 25, 1971, Las Vegas, New from Fabry-Perot Interferometer Fringes of Verv Low Intensity, Appl. Opt., 10, 193 (1971).
9. Herriott D. R. Multiple-Wavelength Multiple-Beam Intcrferometric Observation of F1 at Surfaces, J. Opi. Soc. Am., 51, 1142 (1961).
10. Jensen A. E. Absolute Calibration Method for Laser Twyman-Green Wave-front Testing Interferometers, (abstract only), J. Opt. Soc. Am., 63 1313 (1973).
342' 11. Jones R. A., Kadakia P. L. Aulomated Intcrferograph Analysis Technique, Appl. Opt. 7, 1477 (1968).
12. Langenbeck P. H. Multipass Interferometry, Appl. Opt., 8, 543 (1969).
13 Malacara D., Rizo 1., Morales A. Interferometry and the Doppler Effect, Appl. Opt., 8, 1746 (1969).
14. Okoomian H. J. A Two-Beam Polarization Technique to Measure Optical Phase, Appl. Opt. 8, 2363 (1969).
15. Rice S. 0. Mathematical Analysis of Random Noise. Bell Syst. Tech. J., 23, 282 (1944).
16. Rirnmer M. D. Method of Evaluating Lateral Shearing Interferograms, Appl. Opt., 13, 623 (1974).
17. Shepp L. A. Private communication, 1976.
18. Sommargren G. E. Up/Down Frequency Shifter for Optical Heterodyne Interferometry, J. Opt. Soc. Am. 65, 960 (1975).
19. Takasaki H., Yoshino Y. Polarization Interferometer, Appl. Opt., 8, 2344 (1969).
20. Tolansky S. Multiple Beam Interferometry, Clarendon Press, Oxford, 1948.
21. Twyman F. Prism and Lens Making, Hilger and Watts, London, 1952.
22. Weckler G. P. Charge Storage Operation of Silicon Photodetectors.— In: Proceedings of NATO Advanced Study Institute on Solid State Imaging (September 1975), P. G. Jespers. F. Van De Wiele, and M. H. White, Eds.
23 Wyant J. C. Double Frequency Grating Lateral Shear Interferometer, Appl. Opt., 12, 2057 (1973).
24. Wyant J. C. Use of AC Heterodyne Lateral Shear Interferometer with Real-Time Wavefront Correction Systems, Appl. Opt., 14. 2622 (1975). ГЛАВА 14
Компенсационные методы контроля
А. Оффнер
Для контроля качества асферических поверхностей создан целый ряд различных меіодои контроля. В одном из них, особенно удобном и полезном для !!,•пользования в процессе изготовления деталей, применяется вспомогательная онтичская сі.с.ема, рассчитываемая так, чтобы совместно с контролируемой асферической поверхпостьч) формировать стигматическое изображение точечного источника. Такие системы получили название нулевых корректоров, или ком-пенса горов.
14.1. ВВЕДЕНИЕ
Возможности оптиков изготовлять точные астрономические зеркала значительно увеличились с внедрением хорошо известного метода ножа Фуко [6]. Он исключительно чувствителен и удобен в интерпретации, особенно прп опенке величины астигматизма пучка, поскольку является в данном случае компенсационным методом контроля. Сферическую поверхность проверяют с помощью непрозрачного ножа и источника света, помещенных в центре ее кривизны. Любые теневые образования на равномерно освещенной поверхности детали свидетельствуют об ее погрешностях в этом месте.
В применении к параболическим зеркалам метод требует значительно больше времени и менее точен; погрешности поверхности здесь могут быть определены лишь из результатов многочисленных измерений в различных зонах.
В течение многих лет единственной альтернативой метода Фуко, используемой при изготовлении параболических зеркал, служил автоколлимацпонпый контроль с помощью оптической плоскости, размеры и точность которой соответствуют параметрам измеряемой поверхности.
Кудэ [3] показал, что астигматизм в изображении точечного источника в центре кривизны параболоида можно устранить, помещая между зеркалом и изображением небольшую компенсационную линзу. В его компенсаторе (рис. 14.1) использованы два оптических компонента с общей нулевой оптической силой. Устройство, оказавшееся высокоэффективным при контроле параболического зеркала диаметром 30 см и f/5, имело собственные размеры около 4 см.
