Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
Доля кремния в молекуле 0,165 0,207 0,277 0,869
Температура кипения Т*ип, К Плотность жидкости при: 330,45 305,20 281,3 161,20
нормальных условиях (н.у.), кг/м3 1,470 1,333 - -
¦*кип Плотность пара, кг/м , при: 1,403 1,317 1,261 556
Н.у 2,158 4,371 4,513 1,454
^КИП 6,300 5,545 - -
Теплота испарения, кДж/моль Вязкость жидкости при Tkhii, IO-4 нХ 29,33 26,6 27,27 11,26
Xe • M-2 Вязкость пара • IO'5, Па • с, при: 3,473 3,074 — 1,32
»•У 1,072 1,04 — 1,085
^кіш Поверхностное иатяжение жидкости, мДж • м'2, при: 1,12 1,03 5,819 • IO'1
Н.у 19,05 17,36 - -
15,4 16,5 21,0 14,0
Температура плавления, К 203,75 146,55 151,0 88,48
Теплота плавления, кДж/моль Критические: 7,716 10,894 — 0,6678
температура, К 507,0 479,0 445,0 269,5
давление, МПа 3,73 4,17 4,49 4,84
объем, CM3/моль 326,3 268,0 228,0 137,0
* ткип — температура кипения при нормальном давлении.
Термодинамические характеристики силанов приведены в табл. 6, а давление насыщенных паров и их содержание в инертном газе -в табл. 7.
Способы получения трихлорсилана
Впервые трихлорсилан был получен при взаимодействии кремния и осушенного хлористого водорода [95]. Реакция протекает с заметной скоростью при 553- 623 К [99].
В литературе имеются описания и других методов производства трихлорсилана [3]. В частности, при восстановлении кварцевого песка магнием получают силицид магния, который затем обрабатывают соляной кислотой, в результате образуется трихлорсилан.
147
Таблица 6. Термодинамические свойства силанов и других веществ, истхн&зуемых в технологии полупроводникового кремния [96,97]
Вещество ~ ДН/, 298’ кДж/моль 298’ Дж/(моль* Хград) Ср, 298’ Дж/(мольХ Хград) о С^в + ЬГ+еГ'^ P Ь-103 с-IO-5
H2 0 130,5 28,83 27,28 3,26 -0,5
Cl2 0 223,0 33,93 37,0 0,67 2,85
Sitrn 0 18,83 20,0 22,82 3,86 3,54
uiKp HCI 92,37 186,9 29,14 21,25 5,19 -1,26
SiCl4 655 331,2 • 90,4 106,3 0,96 14,69
SiHCl3 489 298,4 76 98,72 3,77 21,31
SiH2Q2 317 284,7 62,1 90,77 6,95 26,92
SiH3Cl 143 244,7 50,3 82,18 10,38 30,6
SjH4 -30 204,7 42,9 74,08 13,58 31,69
SiaCl^ 1155 476 159 176,47 4,31 35,42
SigClg 1620 603 209 — — —
SiCl2 160 282 71 57,02 0,92 5,27
SiCl3 436 318 90,4 82,06 0,59 10,21
Таблица 7. Зависимость давления насыщенных паров от температуры [98]
Г, К Давление • IO'5, Па Плотность, г/м3
Моносилан
113 0,0185 2,423- 10
118 0,0322 4,222- 10
123 0,0538 7,048- 10
128 0,0865 1,132- IO2
133 0,1344 1,760 • IO2
138 0,2026 2,654- IO2
143 0,2973 3,894- IO2
148 0,4256 5,574 ¦ IO2
153 0,5959 7,804' IO2
158 0,8175 1,070 • ¦103
163 1,1010 1,441 • IO3
168 1,4578 1,909 •103
173 1,9005 2,488 -IO3
178 2,4425 3,198 • •103
183 3,0979 4,056 •103
188 3,8816 5,083 -IO3
193 4.808Т 6,297 -IO3
198 5,8952 7,720 -IO3
203 7,1568 9,372 -IO3
208 8,6096 1,127 -IO4
148
Продолжение табл. 7
Г, К Давление • IO'5, Па Плотность, г/м3
213 10,2697 1,344 • IO4
218 12,1526 1,591 • IO4
223 14,2741 1,869 • IO4
228 16,6488 2,180 • IO4
233 19,2914 2,526 • IO4
238 22,2153 2,909 • IO4
243 25,4335 3,330 • IO4
248 28,9579 3,792 • IO4
253 32,7995 4,295 • IO4
258 36,9681 4,741 • IO4
263 41,4726 5,431 • IO4
268 46,3205 6,065 • IO4
273 51,5182 6,746 • IO4
Монохлорсилан
113 - 7,786 • IO'4
118 — 3,136 • IO'3
123 - 1,101 • IO'2
128 3,430 • IO'2
133 - 9,615 • IO'2
138 — 2,459 • IO'1
143 0,0002 5,795 • IO'1
148 0,0004 1,270
153 0,0009 2,611
158 0,0018 5,061
163 0,0034 9,341
168 0,0060 1,644 • 10
173 0,0102 2,776 • 10
178 0,0165 4,514-10
183 0,0260 7,096 • 10
188 0,0397 1,081 • IO2
193 0,0589 1,603 • IO2
198 0,0851 2,317 • IO2
203 0,1202 3,272 • IO2
208 0,1662 4,523 • IO2
213 0,2253 6,133 • IO2
218 0,3002 8,169 • IO2
223 0,3934 1,070 • IO3
228 0,5079 1,382 • IO3
233 0,6468 1,760 • IO3
238 0,8134 2,213 • IO3
243 1,0110 2,751 • IO3
248 1,2431 3,383 • IO3
253 1,5134 4,118- IO3
258 1,8257 4,968 • IO3
263 ,2,1839 5,943 • IO3
268 2,5918 7,053 • IO3
149
Продолжение табл. 7
Т, К Давление • IO'5, Па Плотность, г/м3
273 3,0537
278 3,5736
283 4,1561
288 4,8055
293 5,5266
298 6,3242
303 7,2033
308 8,1694
313 9,2277
318 10,3846
323 11,6460
328 13,0187
333 14,5094
338 16,1259
343 17,8761
348 19,7687
353 21,8124
358 24,0179
363 26,3948
368 28,9554
373 31,7108
378 34,6757
383 37,8635
388 41,2891
393 44,9697
398 48,9231
403 53,1687
408 57,7267
413 62,6203
418 67,8731
423 73,5120
428 79,5646
433 86,0621
ИЗ
118
123
128
133
138
143
148
153
158
163 0,0001
168 0,0002
173 0.0005
8,310 IO3
9,725 IO3
1,131 IO4
1,307 IO4
1,504 IO4
1,721 IO4
1,960 IO4
2,223 IO4
2,511 IO4
2,826 IO4
3,169 IO4
3,542 IO4
3,948 IO4
4,388 IO4
4,864 IO4
5,379 IO4
5,936 IO4
6,536 IO4
7,183 IO4
7,879 IO4
8,629 IO4
9,436 IO4
1,030 IO5
1,123 IO5
1,223 IO5
1,331 IO5
1,446 IO5
1,570 IO5
1,704 IO5
1,847 IO5
2,000 IO5
2,165 IO5
2,342 IO5
Дихлорсилан
2,345 IO’5