Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Электротехника -> Фалькевич Э.С. -> "Технология полупроводникового кремния" -> 40

Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.

Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. Технология полупроводникового кремния — М.: Металлургия, 1992. — 408 c.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка): tehpolkremniya1992.djvu
Предыдущая << 1 .. 34 35 36 37 38 39 < 40 > 41 42 43 44 45 46 .. 162 >> Следующая


Гранецентрированная кубическая решетка (типа алмаз)

(5,4307210,00001)10*10

1,33 • IO'10 2,35 -IO-10

14

28,086

1^2p63s23p2

28Si (92,28 %), 25Si (4,67 %), 30Si (3,05 %) 27Si (?* , 4,9 с), 31(?-, 10200 с)

Параметр решетки (при 298 К), м

Атомный радиус, м..............

-Расстояние между атомами, м..

93
Количество атомов в 1 см",3................

Плотность, г/см3:

при 293 К...............................

жидкого при Tnn.........................

Температура, К:

плавления •*пл..........................

кипения.................................

Теплота (? • IO3), Вт • с-1 • моль'1:

плавления ..............................

испарения...............................

Изменение объема при Tms, %................

Поверхностное натяжение (0 • IO"3) прн Тпл,

H • см-1...................................

Коэффициент линейного расширения, К-1. .

Давление паров при Тпл, Па.................

Кинематическая вязкость при •*пл> см"2 X

Xe"1.......................................

Теплопроводность при Тпл> Вт • см"1 • К"1:

жидкого.................................

твердого................................

Теплопроводность прн 298 К, Вт • см"1 • К"1. Электрическое сопротивление (р • IO"3) прн Гпл. Ом • см:

жидкого.................................

твердого................................

Теплоемкость, Вт • с • г"1 • К"1:

жидкого при Tnn.........................

твердого прн 298 К......................

Предел прочности монокристалла, МПа:

иа сжатие...............................

на изгиб................................

на разрыв...............................

Для монокристалла с собственной проводимостью при 298 К:

УЭС, Ом • см............................

количество носителей, CM"3 .............

подвижность, см2/(В • с):

электронов ..........................

дырок................................

Ширина запрещенной зоны при 300 К, эВ . ..

Диэлектрическая проницаемость..............

Магнитная восприимчивость прн:

1000 К..................................

1688 К..................................

Коэффициент преломления при длине волны, мкм:

1.0 5...................................

2. 6...................................

2-10....................................

Отражательная способность при длине волны > 1,5 мкм...............................

Твердость:

по БриНеллю, ГПа........................

94

4,96 • IO22

2.33 2,53

1693; 1683; 1685+2 2903; 2750; 2753; 3151

50,7; 54,3; 31,0 297; 447

9,0

7,20; 7,36

2.33 • IO"6 3,7 • IO"2

0,0035; 0,0106 0,67

0,31; 0,216

0,084; 0,062; 0,836; 1,85; 1,60; 1,09

0,081

2,350

9,86; 31,1 0,467; 0,758

480-548; 96 120-130; 68,5-340 176

(24-28)104

1,27 • IO10; 1,5 • IO10

1350+100

480±15



12

0,64

0,46

3,565

3,443

3,5

0,3

2,4
по Moocy ........................ 7,0

Модуль упругости.................... 108,9 ,

Коэффициент сжимаемости, Па-1....... 3,3 • IO"12

Энергия связи между атомами, кДж/моль.. 176

В химических соединениях кремний четырехвалентен. Кремний устойчив ко многим кислотам, нерастворим в воде, легко растворяется в горячих растворах щелочей, растворяется также в смеси фтористоводородной и азотной кислот. Почти со всеми металлами кремний образует силициды.

Окисление кремния заметно с 700 К, при этом плоскости (111) окисляются быстрее, чем (100), что связано с большей поверхностной плотностью атомов на плоскости (111). Механические свойства кремния достигают максимальных значений для направлений (111). При температурах > 1000 К кристаллы кремния могут пластически деформироваться.

Обнаружено [54], что при увеличении давления и температуры наблюдается для чистого кремния фазовый переход от кубической структуры алмаза к тетрагональной центрированной решетке белого олова, а затем и к гексагональной.

Кремний обладает характерным блеском полированных металлов, что обусловлено его высокой отражательной способностью. В видимой1

^hc- 37. Зависимость растворимости примесей в кремнии от температуры

95
области спектра он сильно поглощает свет (коэффициент поглощения ~ IO5 см-1). В инфракрасной области спектра кремний практически прозрачен (для довольно широкого диапазона длин волн в этой области коэффициент поглощения > 0,1 см-1). Растворимость ряда примесей в кремнии иллюстрирует рис. 37 [8].

Качество монокристаллрв кремния, используемых для производства приборов, оценивается по существующим стандартам и техническим условиям следующими параметрами: типом электропроводности; величиной и однородностью распределения УЭС; временем жизни неравновесных носителей заряда; подвижностью и концентрацией носителей заряда; кристаллографическим направлением, по которому выращен монокристалл (ориентация); структурными дефектами; концентрацией примесей.

2. ПАРАМЕТРЫ И МЕТОДЫ ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ

Основы электрической проводимости полупроводников, подвижность и концентрация носителей заряда
Предыдущая << 1 .. 34 35 36 37 38 39 < 40 > 41 42 43 44 45 46 .. 162 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed